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快色视频污下载污角分布測量係統
全波段快色视频污下载污透過率測量,透射角分布測量
全波段快色视频污下载污反射率測量,反射角分布測量
波長範圍:200nm-IR
不同的快色视频污下载污範圍可能需要不同的光學光路設計結構
雙層平台獨立旋轉,重複定位精度0.005°,分辨率0.00125°
樣品置於上層旋台,探測器置於下層旋台,樣品和探測器可以任意角度工作
台麵上放置一個五維調整鏡座,可將樣品調整到旋台的旋轉中心並且垂直於台麵
功能擴展:測量光柵衍射效率
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