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“55mm 係列"— Linear55-x-Slim (閉環控製)
低溫 · 壓電運動- 線性位移係列
納米級壓電位移台Linear55-x-Slim主要特征
• 緊湊設計, 尺⼨ : 55*55*10.5 mm
• 超⾼真空 & 超低溫兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
• ⽆磁材料(純 Ti & BeCu)，最⾼兼容 18 Tesla 磁場
• 超⾼負載 & 超⾼推⼒ : 2500 g & 3 N
• ⼤⾏程 : 30 mm
• 閉環控製，內置位置傳感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um
納米級壓電位移台Linear55-x-Slim⼆維尺⼨
Linear55-x-Slim, SpeciÞcation
可選版本 ⇨ | .HV (默認) | .ULT | .UHV | .ULT.UHV | |
.HV ⾼真空版本，默認產品; .ULT 超低溫版本, 兼容氦-3製冷係統 & 稀釋製冷機 .UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar | |||||
1 三維尺⼨ | 55.× 55 mm × 10.5 mm | ||||
2 質量 | 130 g | ||||
適⽤環境範圍 | |||||
3 基礎 | 溫度範圍: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最⼤磁場: 18 Tesla | ||||
4 可選1 - 30 mK | ✓ | ✓ | |||
5 可選2 - 2e-11 mbar | ✓ | ✓ | |||
材質 | |||||
6 主體 | Pure Ti | BeCu | Pure Ti | BeCu | |
7 線纜 | 磷⻘銅雙絞線，20cm | ||||
8 針腳材質 | 聚酯材料（玻璃纖維填充）, BeCu | Peek, BeCu | |||
9 針腳數量 | 驅動 -2 pins，傳感 - 3 pins | ||||
運動參數 | |||||
10 ⾏程 | 30 mm | ||||
11 最⼤運動速度 @300 K | ~ 2 mm/s | ||||
12 驅動電壓 | Max. 200 V | ||||
13 最⼤負載 | 2500 g | ||||
14 最⼤推⼒ | 3 N | ||||
傳感器（閉環） | |||||
15 位置傳感器 | 電阻傳感 | ||||
16 傳感器⾏程 | 30 mm | ||||
17 傳感器分辨率 | ~ 150 nm | ||||
18 重複定位精度 | 1 - 2 um | ||||
